真空鍍膜膜層出現(xiàn)膜外白霧的改善對策。

現(xiàn)象：膜層完成后，表面有一些輕微的白霧，用丙酮或混合物擦拭，會有越來越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鋯粉擦拭，可以擦拭或減少（也稱為：可以擦拭壓克）

分析：真空鍍膜膜層出現(xiàn)膜外白霧的原因比較復雜，可能的原因有:

①、膜結(jié)構(gòu)問題：外膜柱狀結(jié)構(gòu)松散，外膜粗糙；

②、蒸發(fā)角過大，膜結(jié)構(gòu)粗糙。

③、溫差：鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大。

④、潮氣；透鏡出罩后放置環(huán)境的潮氣。

⑤、真空室內(nèi)Polycold解凍時水氣過多。

⑥、充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻。

⑦、膜與膜之間的應力。

改進思路：膜外白霧的原因很多，但各有特點，盡量對癥下藥。主要思路是使膜致密光滑，不易吸附，改善環(huán)境，減少吸附對象。

對策：

1、改善膜系統(tǒng)，在外層加入二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善透鏡出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)

2、降低出罩時的鏡片溫度(延長真空室冷卻時間)，減少溫差和應力。

3、改善充氧(加大)和膜結(jié)構(gòu)。

4、適當降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結(jié)構(gòu)。

5、改善膜結(jié)構(gòu)。

6、加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水蒸氣)。

7、從蒸發(fā)源和夾具上找到改善蒸發(fā)角的方法。

8、提高基片表面粗糙度。

9、注意polycold解凍時的真空度。

以上是真空鍍膜膜層出現(xiàn)膜外白霧的改善對策，如有其他問題，歡迎咨詢：18018743855   0755-27865426