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無論采用什么樣的方式真空鍍膜 ,其均勻度都會受到某些因素的影響。今天我們就來聊聊磁控濺射鍍膜,造成膜層不均勻的原因。磁控濺射鍍膜的原理是在真空狀態(tài)下,正交磁場使電子轟擊氬氣,構(gòu)成氬離子再轟擊靶材,靶材離子堆積于產(chǎn)品表面,形成膜層,那么影響膜層不均勻的就有真空度、磁場和氬氣。
真空度需要抽氣系統(tǒng)來完成,每個抽氣口都要一起發(fā)力,這樣就能撐控抽氣的均勻性,爐體內(nèi)的真空度也就很好控制;真空爐體內(nèi)是一個強(qiáng)有力的磁場,雖說磁場強(qiáng)度不可以做到百分之分均勻,但產(chǎn)品在爐體內(nèi)均速公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn),所以膜層也還是很均勻的;氬氣的均勻性對會膜層也有一定的影響,原理和真空度差不多,因?yàn)闅鍤獾募尤?,真空室?nèi)壓強(qiáng)會發(fā)生改變。盡管總有一些因素影響膜層的均勻性,但只要熟練操作真空鍍機(jī),控制好各項參數(shù),真空鍍膜的均勻性還是很容易控制的。
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