PVD鍍膜技術(shù)基本方法真空蒸發(fā)、濺射 、離子鍍，小編簡要介紹幾種常用的方法。

首先，電子束蒸發(fā)是PVD鍍膜技術(shù)的基本方法之一。電子束蒸發(fā)是利用聚焦成束的電子束來加熱蒸發(fā)源，使其蒸發(fā)并沉積在基片表面而形成薄膜。

第二，濺射沉積，濺射是與氣體輝光放電相聯(lián)系的一種薄膜沉積技術(shù)。PVD鍍膜技術(shù)濺射的方法很多，有直流濺射、RF濺射和反應(yīng)濺射等，而用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。在真空室內(nèi)充入放電所需要的惰性氣體（如氬氣），在高壓電場作用下氣體分子因電離而產(chǎn)生大量正離子。帶電離子被強(qiáng)電場加速，便形成高能量的離子流轟擊蒸發(fā)源材料（稱為靶）。在離子轟擊下，蒸發(fā)源材料的原子將離開固體表面，以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。

第三，RF（射頻）濺射也是一種常見的PVD鍍膜技術(shù)，RF濺射不僅可以沉積金屬膜，而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜，因而使用范圍較廣。

第四，電弧離子鍍，陰極弧技術(shù)是在真空條件下，通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài)，從而完成薄膜材料的沉積，該技術(shù)材料的離化率更高，薄膜性能更加優(yōu)異。

第五，離子束也是一種重要的PVD鍍膜技術(shù)。離子束加工是在真空條件下，先由電子槍產(chǎn)生電子束，再引入已抽成真空且充滿惰性氣體之電離室中，使低壓惰性氣體離子化。由負(fù)極引出陽離子又經(jīng)加速、集束等步驟，獲得具有一定速度的離子投射到材料表面，產(chǎn)生濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。由于離子帶正電荷，其質(zhì)量比電子大數(shù)千、數(shù)萬倍，所以離子束比電子束具有更大的撞擊動能，是靠微觀的機(jī)械撞擊能量來加工的。

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