說濺射鍍膜材料之前先了解一下薄膜材料？薄膜材料生長于基板材料（如屏顯玻璃、光學(xué)玻璃等）之上，一般由金屬、非金屬、合金或化合物等材料經(jīng)過鍍膜后形成，具有增透、吸收、截止、分光、反射、濾光、干涉、保護(hù)、防水防污、防靜電、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、裝飾和復(fù)合等功能，并能夠提高產(chǎn)品質(zhì)量、環(huán)保、節(jié)能、延長產(chǎn)品壽命、改善原有性能等。

濺射靶材是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點(diǎn)，一般由靶坯和背板（或背管）組成。按使用的原材料材質(zhì)不同，濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材，如硅靶材、鈮靶材、鋁靶材等；合金靶材如鎢合金靶材、鋅鋁合金靶材等；化合物靶材如ITO靶材等。

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