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氮化鈦涂層有什么特點(diǎn)
來源: | 發(fā)布日期:2022-06-25

氮化鈦涂層 具有熔點(diǎn)高,化學(xué)穩(wěn)定性好,硬度大,導(dǎo)電、導(dǎo)熱和光性能好等,使其在各個(gè)領(lǐng)域都有著非常重要的用途,尤其是在新型金屬陶瓷領(lǐng)域和代金裝飾領(lǐng)域方面。

氮化鈦涂層

常用的濺射氮化鈦涂層是入射粒子和靶碰撞,靶原子被撞后,獲得滿足能量,脫離靶材,堆積于基體上。為了提高濺射功率,加入了磁控技術(shù)。選用的磁控濺射源中的磁場(chǎng)為均勻關(guān)閉磁場(chǎng)的方法,此方法被稱作平衡磁控濺射法。此方法無論是平面靶仍是柱狀靶,都是使用平行于靶面的磁場(chǎng)分量來約束二次電子在靶面做螺旋線運(yùn)動(dòng)。以此提高氬氣的離子化率和提高濺射速率。

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